日本JEOL 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡特性

JSM-IT800 整合了我們用于從高分辨率成像到快速元素分析的“浸沒式肖特基 Plus 場發(fā)射電子槍"、創(chuàng)新的電子光學(xué)控制系統(tǒng)“Neo Engine"以及無縫 GUI 系統(tǒng)“SEM Center"，該系統(tǒng)采用一體化 JEOL X 射線能量色散譜儀 (EDS) 作為通用平臺，進(jìn)行快速元素分析。

JSM-IT800 允許物鏡作為一個更換模塊，提供不同的版本以滿足各種用戶需求。JSM-IT800 有五種版本，提供不同的物鏡：混合型物鏡 (HL)，這是一種通用 FE-SEM；超級混合物鏡（SHL/SHLs，具有不同功能的兩種版本），可實(shí)現(xiàn)更高分辨率的觀察和分析；以及新開發(fā)的半浸沒式物鏡（i/is，具有不同功能的版本），適用于納米材料、化學(xué)、新材料、半導(dǎo)體器件的觀察和分析。

此外，JSM-IT800 還可以配備新型閃爍體背散射電子探測器 (SBED) 和多功能背散射電子探測器 (VBED)。SBED 支持以高響應(yīng)性獲取圖像，即使在低加速電壓下也能產(chǎn)生清晰的成分襯度，而 VBED 可以幫助獲取 3D、形貌和成分襯度的圖像。因此，JSM-IT800 可以幫助用戶獲取豐富多樣德 信息并解決測量中的問題。

日本JEOL 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡